在被溅射的靶极（阴极）与阳极之间加一个正交磁场和电场，在高真空室中充入所需要的惰性气体（通常为Ar气），永久磁铁在靶材料表面形成250～350高斯的磁场，同高压电场组成正交电磁场。

镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。

环境危害 微细粉末极易燃烧，有时能自燃并会发生爆炸。锆粉也能在二氧化碳及氮气中燃烧。粉末在受热、遇明火或接触氧化剂时会引起燃烧爆炸。

锆和锂及钛一样能强烈地吸收氮、氢、氧等气体。当温度超过摄氏九百度，锆能猛烈地吸收氮气；在摄氏二百度的条件下，一百克金属锆能够吸收八百一十七升氢气，相当于铁的八十多万倍。

将斜锆石焙烧转化为四氯化锆。锆石与炭共热，转化为碳化锆，再氯化成四氯化锆，然后用镁还原可制得金属锆。

锆（Zirconium）是一种化学元素，它的化学符号是Zr，它的原子序数是40，是一种高熔点金属，呈浅灰色。密度6.49g/㎝3。